دستگاه میکروپروفایلومتر سهبعدی با بهرهگیری از اسکن نوری سطح با دقت گام ۱ میکرون (قابل تنظیم) و دستیابی به دقت میکرونی، امکان بازسازی توپوگرافیک و تحلیل مورفولوژیک ناهمواریهای سطحی را با رزولوشن عمقی بهتر از ۱۰ میکرون و رزولوشن عرضی بهتر از ۵ میکرون، به صورت غیر تماسی و خودکار و بسیار سریع فراهم میآورد. این سیستم قابلیت اسکن و استخراج ویژگیهای سطح در پوکههای شکاری را نیز داراست؛ قابلیتی که در سیستمهای سنتی وجود نداشته و اکنون با دقت میکرونی در این سامانه تحقق یافته است.
میکروپروفایلومتر سه بعدی نوری
مشخصه | مقدار | مشخصه | مقدار |
مدل | — | دقت اندازهگیری عمقی | بهتر از ۱۰ µm |
دقت اندازهگیری عرضی | بهتر از ۵ µm | عمق دادهبرداری | ۲٫۵ mm |
میدان دید | متغیر از ۵ تا ۲۵ mm | دوربین | ۵ مگاپیکسل |
منبع نور | LED | طولموج مرکزی منبع | ۵۵۰ nm |
دامنه حرکتی جابهجاگرها | ۳۶۰°، ۵۰ mm | دقت هر گام جابهجاگر | ۱°، ۱ µm |
بازتابندگی نمونه | ۲۰–۱۰۰٪ | دمای کاری دستگاه | ۰–۶۰ °C |
ولتاژ کاری | ۲۲۰ V، ۵۰ Hz |
